辽宁省微纳米技术及系统重点实验室微系统与微制造辽宁省高校重点实验室 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室/微系统与微制造辽宁省高校重点实验室是集微机电系统、纳米技术、信息光电子技术等为一体的研究机构，也是东三省微机电系统研发联合体牵头单位。实验室正式成立于2004年，其前身是2000年成立的开云平台首页 微系统研究中心，重点实验室由中国科学院院士、开云平台首页 王立鼎教授发起和组建，现任重点实验室学术委员会主任为王立鼎院士，实验室主任为刘军山研究员。实验室确定以微纳系统与技术为研究主题，其研究方向为（1）生化微系统与物联网；（2）微纳传感器与执行器；（3）微纳仪器与装备；（4）信息光电子；（5）纳米材料与器件。实...