样品最大尺寸：200mm
XY样品台行程：200mm×200mm
XY扫描器范围：200μm×200μm
Z扫描器范围：25μm
Z向分辨率：0.01nm

该原子力显微镜XY电动样品台可用于放置大型样品，且可全程扫描整个样品。独立闭环控制的单模块柔性XY扫描器和Z扫描器完全分开，XY扫描器水平方向移动样品，Z扫描器垂直方向移动探针，最大限度见笑了XY和Z扫描运动的交叉耦合，有效保证了扫描的准确度和精度。平板式和线性XY扫描及强力Z扫描器具有较大扫描范围。在保持高质量和高分辨率成像的同时可实现精确的纳米计量和无损检测。

接触式探针，非接触探针