主要规格及技术指标
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1、陶瓷X光管: 最大功率:2.2kW(Cu靶) 2、测角仪重现性:0.0001度 3、可控最小步进:0.0001度 4、PIXcel3D超能探测器:最大计数率>109cps 5、五轴样品台:实现五个方向校正样品 |
主要功能及特色
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1常规物相分析 2结晶度, 3晶粒尺寸 4薄膜物相分析 5织构测定 6应力分析 |
主要附件及配置
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应力附件 薄膜附件 织构附件 |