主要规格及技术指标
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XYZ测量范围200×200×200 mm;XY轴分辨率0.5μm;承载20 Kg;测量速度30,15,10,5,1,0.5 mm/sce;XY轴直线度±0.4μ |
主要功能及特色
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适用于检测各种测量零件表面的直线度,平面度,表面粗糙度,表面波纹度,三维形貌,膜层厚度,台阶高度,等 |
主要附件及配置
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探针配置:孔针,粗糙度针,轮廓针 |