1）配置5×、10×、20×、50×和100×物镜；100×100mm超声波电动载物台；1-8倍光学变焦；
2）放大倍数100×到17200×，Z轴分辨率为10nm，XY轴分辨率为120 nm；
3）显微镜最大视野5120×5120mm；最多可实现500幅图像自动拼图。

可获得高分辨的二维表面显微形貌；可观察样品表面亚μm程度的三维形态和形貌；可测量多种微小尺寸，如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长度、线粗糙度、面粗糙度等等。

无