主要规格及技术指标
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日本进口设备,规格型号VPC-1100,真空度可达10-5帕,有三个靶位。 |
主要功能及特色
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可电子束蒸镀金、镍、二氧化硅等 |
主要附件及配置
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主机腔体,机械泵,分子泵,真空测量仪,电源等 |