1、SE分辨率 30 kV：1.2 nm (工作距离5 mm)； 2、BSE分辨率15 kV（低真空）：2.5 nm； 3、束流：0-200 nA。

1、热场发射扫描电镜，可对样品表面微观形貌、原子序数衬度和成分进行分析；
2、配备背散射电子探头；
3、配备X 射线能谱仪，可进行微区成分分析，配备Aztec能谱分析软件；
4、配备有低真空模式（10-300 Pa）；
5、对样品无磁性要求，可进行磁性样品的较高分辨成像，对导电性较差样品可不镀膜成像。

英国Oxford公司的Ultim Max能谱分析仪