量程：XYZ:60*60*60 mm （Z向测量微调10mm）
分辨率：X轴 0.1μm；Y轴 0.1μm；Z轴（定位用） 0.1μm；Z轴（测量用） 0.01μm；
测量精度：(L=测定长 mm) X轴(2+4L/1000)μm ；Y轴 (2+4L/1000) μm；Z轴（测量用） (0.3+0.5L/10) μm
XY 载物台 尺寸：210x210mm
最大测定高 ：70mm (最大可到 100mm )
工件承重 ：4kg
设备尺寸 ：机构部: 400 x 400 x 450mm

该仪器利用激光扫描工件表面进行非接触粗糙度测量、二维三维形貌测量。

无